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钽酸锂抛光液,LT抛光液,晶圆抛光

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钽酸锂(LiTaO3)抛光液

所属分类:抛光液      发布时间:2021-02-19

上海新创纳电子科技有限公司开发了钽酸锂抛光液系列产品,主要包括LT-01、LT-02、LT-1915、LT-1901、LT-1902等系列。目前广泛应用于国内各大钽酸锂晶体晶圆厂家,市场占有率7成以上博鱼体育,欢迎电话咨询:186-2157-4686(李博士)。

钽酸锂(LiTaO3,简称LT)晶体,是集压电、铁电、热释电、声光及电光等性能于一体的多功能晶体材料,在声表面波(SAW)器件、光通讯、激光及光电子等领域中有着广泛的应用,是制作滤波器和谐振器的关键材料。

 

酸性钽酸锂抛光液

优点

博鱼体育1、抛光速率大于15μm /h。

2、抛光表面平整光滑,无明显划伤,表面粗糙度达到0.2nm以下。

博鱼体育3、酸性抛光液,抛光速率较快。

应用:钽酸锂等晶圆抛光。

 

碱性钽酸锂抛光液

优点

博鱼体育1. 抛光速率大于10μm/h 。

2. 抛光表面平整光滑,无明显划伤,表面粗糙度达到0.15nm以下。

3. 碱性抛光液,抛光后的的表面质量较好。

 

主要指标:LTV<0.5, TTV<3, Ra<0.3。

应用博鱼体育:钽酸锂等晶圆的精抛。

钽酸锂抛光液

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