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氧化铝抛光液,蓝宝石抛光液

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氧化铝基蓝宝石抛光液

所属分类:抛光液      发布时间:2021-02-19

博鱼体育蓝宝石抛光液中的主要成分有:磨料、pH调节剂、表面活性剂、螯合剂等,其中,磨料是影响CMP抛光效果最重要的因素之一,它主要影响化学机械抛光中的机械作用。目前常用的磨料主要有金刚石、氧化铝、氧化硅等单一磨料,也有氧化硅/氧化铝混合磨料以及核壳型的复合磨料等。 氧化铝磨料表面细腻,质地坚硬,耐磨性好,耐腐蚀,适用于多种材料的表面研磨抛光处理,市面上最常用的就是性能优良的α-Al2O3磨料。氧化铝磨料的缺点是分散性和选择性较差,抛光液的粘度大,不易清洗。并且由于α-Al2O3磨料的硬度与蓝宝石相近,在抛光过程中容易对工件表面造成新的损伤。但由于氧化铝磨料的抛光速率优于二氧化硅磨料,LED产业的市场前景广阔。

博鱼体育「上海新安纳」博鱼体育近年来从配方、工艺等多渠道,针对C向蓝宝石这种超硬材料,成功解决了氧化铝作为CMP抛光液磨料的上述种种弊端。它有高效的去除速率,抛光后的蓝宝石表面缺陷较少,可以保证被抛工件有较高的良品率。尤其在抛光速率方面,氧化铝抛光液较之前的氧化硅抛光液有显著提升,是其速率的2倍以上。

博鱼体育新创纳公司开发的氧化铝基蓝宝石抛光液系列产品包括:WH-R2,WH-RG、WH-XJ1、WH-AK01、WH-A1905、WH-XJ1A、WH-AK09、WH-XJ262等。

优点:

博鱼体育1、抛光表面质量好,表面粗糙度Ra小于0.3nm;

2、去除效率高,抛光速率大于10μm/h;

3、抛光寿命长。

WH系列氧化铝基蓝宝石抛光液

相关标签: CMP抛光液  

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